流量計用于半導體和液晶制造設備
?流量計用于半導體和液晶制造設備
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■ 顯示并監(jiān)控轉(zhuǎn)軸的轉(zhuǎn)動和液體的流量，以確保噴射的液體附著均勻。
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選定點
1.流量測量
■可以從微小流量進行測量（XFS系列）
■寬流量范圍、高溫度、高耐壓（VC系列）
■通過0.5ms（TDP-4921）、0.1ms（SPD-2401）、1ms（TDP-3621）的模擬輸出測量瞬時流量
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2.轉(zhuǎn)速測量
■通過0.5ms（TDP-4921）、0.1ms（SPD-2401）、1ms（TDP-3621）的模擬輸出測量軸的旋轉(zhuǎn)速度
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3.傳感
■高分辨率旋轉(zhuǎn)編碼器